高純氣體 乙烯 C2H4 丙烷 C3H8 氟化氫 HF 氨氣 NH3 笑氣 N2O 三氟化氮 NF3 硅烷 SiH4 四氯化硅 SiCl4 三氯氫硅 SiHCl3 二氯氫硅 SiH2Cl2 氮氣 N2 氧氣 O2
