電子氣體 氨氣 NH3 笑氣 N2O 硅烷 SiH4 四氯化硅 SiCl4 三氯氫硅 SiHCl3 二氯二氫硅 SiH2Cl2 氬氣 Ar 氦氣 He 三氟甲烷 CHF3 六氟乙烷 C2F6 八氟環丁烷 C4F8 一氟甲烷 CH3F