產(chǎn)品主要作用：用作標(biāo)準(zhǔn)氣;用于化學(xué)氣相淀積工序

產(chǎn)品中文名：六氟化硫

產(chǎn)品英文名：Sulfur Hexafluoride

化學(xué)式：SF6

CAS號(hào)：2551-62-4

UN 號(hào)：1080

純度：99.999%

閥門(mén)型號(hào)：CGA590