高純氣體 三氟化硼 BF3 三氯化硼 BCl3 溴化氫 HBr 氯化氫 HCl 四氟化硅 SiF4 氯氣 Cl2 四氟化碳 CF4 三氟甲烷 CHF3 六氟乙烷 C2F6 八氟環丁烷 C4F8 六氟化硫 SF6 二氟甲烷 CH2F2