四氟化碳
產品介紹
產品主要作用:用于等離子干刻工序;在很低溫度下作為低溫流體用;也用于中性及惰性氣體
產品中文名:四氟化碳
產品英文名:Tetrafluoromethane
化學式:CF4
CAS號:75-73-0
UN 號:1982
純度:99.999%
閥門型號:CGA580/DISS716
四氟化碳
產品主要作用:用于等離子干刻工序;在很低溫度下作為低溫流體用;也用于中性及惰性氣體
產品中文名:四氟化碳
產品英文名:Tetrafluoromethane
化學式:CF4
CAS號:75-73-0
UN 號:1982
純度:99.999%
閥門型號:CGA580/DISS716