砷烷
產品介紹
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入等工序
產品中文名:砷烷
產品英文名:Arsenic Hydride
化學式:AsH3
CAS號:7784-42-1
UN 號:2188
純度:99.9999%
閥門型號:DISS632
砷烷
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入等工序
產品中文名:砷烷
產品英文名:Arsenic Hydride
化學式:AsH3
CAS號:7784-42-1
UN 號:2188
純度:99.9999%
閥門型號:DISS632